Sähkökentän alla suurella nopeudella liikkuvat elektronit pommittavat esineen pintaa ja lämmittävät sitä. Elektronisuihkulämmityksen pääkomponentti on elektronisuihkugeneraattori, joka tunnetaan myös nimellä elektronitykki. Elektroniase koostuu pääasiassa katodista, sädeelektrodista, anodista, sähkömagneettisesta linssistä ja poikkeutuskelasta. Anodi on maadoitettu, katodi on kytketty negatiiviseen yläasentoon, tarkennussäde on yleensä samassa potentiaalissa kuin katodi ja katodin ja anodin väliin muodostuu kiihdytetty sähkökenttä. Katodin emittoimat elektronit kiihdytetään erittäin suureen nopeuteen kiihtyvän sähkökentän vaikutuksesta, fokusoidaan sähkömagneettisella linssillä ja ohjataan sitten poikkeutuskelalla, jotta elektronisäde ampuu kohti kuumennettua esinettä tiettyyn suuntaan.
Elektronisuihkulämmityksen edut ovat: (1) ohjataan elektronisuihkun eli virta-arvoa, jolla voidaan helposti ja nopeasti muuttaa lämmitystehoa; (2) Sähkömagneettista linssiä voidaan käyttää lämmitetyn osan vaihtamiseen vapaasti tai elektronisuihkupommitusosan aluetta voidaan säätää vapaasti; (3) Tehon tiheyttä voidaan lisätä niin, että materiaali pommitussa pisteessä haihtuu välittömästi.
